窒化アルミ

窒化アルミ

アルミニウムの窒化物であり優れた熱伝導性、シリコンに近い熱膨張率、高いフッ素プラズマ性を有しており非常にバランスの取れた素材となります。

特長

• 高熱伝導率（アルミナの5倍以上）
• シリコンに近い熱膨張率
• 高いフッ素プラズマ性

用途

半導体製造装置用部品、放熱板

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