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アルミナ

酸化物系セラミックスの代表格でもっとも広く使用されています。化学的にも安定し、耐熱や機械強度などバランスの取れた素材となります。

特長

  • 高強度、優れた耐磨耗性
  • 優れた耐熱性
  • 優れた耐薬品性
  • 比較的安価

用途

ノズル、半導体製造装置用部材、高温絶縁材

材質特性表

アルミナ
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